ゲートオールアラウンド型 ナノシート酸化物半導体トランジスタを開発――半導体の高集積化・高機能化へ期待―― (IMAGE)

Institute of Industrial Science, The University of Tokyo

ゲートオールアラウンド型 ナノシート酸化物半導体トランジスタを開発――半導体の高集積化・高機能化へ期待――

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試作したゲートオールアラウンド型酸化物半導体トランジスタの模式図と断面透過型顕微鏡

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東京大学 生産技術研究所

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