La: HZO 铁电电容器的超低热预算与低电压工作特性。 (IMAGE)
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(a) 在 300°C退火条件下，La 掺杂 HZO与传统 HZO 电容器的电流-电场（I-E）与极化-电场（P-E）滞回回线。(b) 基于0.44% La掺杂 HZO 薄膜的铁电电容器在不同退火温度下的P-V曲线与动态I-V曲线。(c) 在300°C退火条件下，La: HZO与传统HZO电容器的2Pr对比。(d) 在 350°C退火条件下，La: HZO与常规 HZO 电容器的2Pr对比。(e) 本工作与既有报道中 400°C以下退火的HZO基铁电电容器的对比图：展示2Pr和Eop之间的关系，说明精准 La 掺杂带来的更优能效“存储窗口”以及优异的性能。
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©《中国科学》杂志社
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