可靠性 (IMAGE)
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(a) 采用La: HZO与传统HZO 薄膜的电容器的 TZDB 特性。(b) 击穿电压的 Weibull（威布尔）分布。每种情况下均测试 10 个电容器以评估其一致性。(c) 在不同退火温度下，采用 La: HZO 与常规 HZO 薄膜的铁电电容器的Ec/EBD（矫顽电场/击穿电场）对比。(d) 采用 La: HZO 薄膜的铁电电容器的耐久性特性。(e) 采用传统HZO薄膜的铁电电容器的耐久循环特性。(f) 在不同温度下，采用La: HZO薄膜的电容器的保持特性。
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