La 掺杂 HZO（La: HZO）铁电电容器概念：在 BEOL 兼容温度下实现低电压工作 (IMAGE)
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(a) 示意图说明了计算/存储/内存系统中的集成挑战，强调了 BEOL 安全热预算（≤350°C）对于嵌入式非易失性存储器的重要性。所提出的策略采用精确控制的原位 La 掺杂，在低温退火下实现强铁电性、高剩余极化（2Pr）和低工作电场（Eop），与传统 HZO 相比，具有更优的性能。(b) 对比了纯 HZO 和 La 掺杂 HZO 器件的概念性比较。
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©《中国科学》杂志社
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